中微公司获得实用新型专利授权：“一种等离子体处理装置及其约束环组件”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置及其约束环组件”，专利申请号为CN202520892625.7，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：一种等离子体处理装置及其约束环组件，等离子处理装置的反应腔的排气区域内设有用于约束等离子体的约束环组件，约束环组件包含相互紧密接触的第一约束环和第二约束环，第一约束环采用硅材质，厚度方向设有多个第一气体通道，第二约束环设置在第一约束环的下游侧，厚度方向设有多个第二气体通道，第一气体通道和第二气体通道组成约束环组件的气体通道，气体通道的深宽比大于等于8:1。本实用新型弥补了硅材质约束环的气体通道存在加工困难导致的深宽比不足和气体流阻偏小的缺陷，通过第二约束环对硅材质约束环的气体通道的深宽比进行有效补偿，令整体的约束环组件获得合适的气体流阻，继而获得合适的抽气速率，从而获得反应的均匀性和稳定性。

今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了7.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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