中微公司获得实用新型专利授权：“一种半导体处理设备及其气体喷淋头”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体处理设备及其气体喷淋头”，专利申请号为CN202520786902.6，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：一种半导体处理设备及其气体喷淋头，半导体处理设备的气体喷淋头包含安装盖板以及沿竖直方向设置在安装盖板上的至少一层气体分配板，安装盖板和气体分配板之间形成气体扩散空间，气体扩散空间分别与安装盖板上的进气通道和气体分配板上的通孔连通，气体分配板包含中心区域和围绕中心区域的外围区域，气体分配板中的至少一个气体分配板的厚度不均匀，厚度不均匀的气体分配板的外围区域的厚度小于中心区域的厚度。本实用新型平衡了从气体喷淋头的中心区域和外围区域进入半导体处理设备的反应腔的工艺气体流量差异，令进入反应腔的工艺气体的浓度呈现出相对均匀的分布态势，以获得对基片的均匀处理结果，提高了产品的良率。

今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了7.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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