证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种下电极组件及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202520786770.7，授权日为2026年6月9日。
专利摘要：本实用新型公开了一种下电极组件及等离子体处理设备，所述下电极组件包括：基座，用于承载晶圆；聚焦环，其设置在基座上且环绕晶圆设置；聚焦环的顶部外边沿处设有圆角过渡，圆角的半径大于或等于0.4mm。本实用新型可以降低聚焦环的顶部外边沿处电弧放电以及聚焦环的顶部外边沿因局域温度过高而意外碎裂的几率。
今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了7.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。
数据来源：天眼查APP
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