中微公司获得实用新型专利授权：“一种磁控管组件及磁控溅射设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种磁控管组件及磁控溅射设备”，专利申请号为CN202520736456.8，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种磁控管组件及磁控溅射设备，磁控管组件包括：背板，第一磁柱，设置在背板上；若干个第二磁柱，设置在背板上，且环绕设置在第一磁柱的外周侧；固定组件，位于第二磁柱的顶端，以固定第二磁柱；固定组件包括：环绕呈圆环的多个紧固组件；每一紧固组件包括内圈紧固件和外圈紧固件；第二磁柱的顶端位于内圈紧固件和外圈紧固件之间，且被两者夹持固定；内圈紧固件和外圈紧固件与背板固定连接，以在轴向上夹持固定第二磁柱。本实用新型既能实现磁控管的简易安装/拆卸又能降低成本。

今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了7.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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