中微公司获得实用新型专利授权：“一种聚焦环功率调节组件”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种聚焦环功率调节组件”，专利申请号为CN202520964307.7，授权日为2026年6月9日。

专利摘要：本实用新型公开了一种聚焦环功率调节组件，包括：支撑环，嵌装于基座边缘的下沉台阶且位于所述聚焦环的下方，所述支撑环包括第一绝缘材料的部分和第二绝缘材料的部分，所述第一绝缘材料的介电常数高于所述第二绝缘材料，且所述第一绝缘材料的热导率低于所述第二绝缘材料；电极，嵌设在所述支撑环的内部，所述电极与所述聚焦环之间包括所述第一绝缘材料的部分；可变电容，与所述电极通过导线电连接；射频匹配器，一端连接所述可变电容，另一端连接射频源。所述的支撑环通过加入高介电常数的第一绝缘材料，提高了电极与聚焦环之间的电容，显著增加了射频向聚焦环的耦合效率和功率，提高了耦合环的使用寿命。

今年以来中微公司新获得专利授权74个，较去年同期增加了7.25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了30家企业，参与招投标项目84次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1685条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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