证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体喷淋板中的限流装置”,专利申请号为CN202211664249.3,授权日为2026年6月5日。
专利摘要:本发明提供了一种半导体喷淋板中的限流装置,喷淋板包括中央设有进气通道的上盖板,限流装置插装于进气通道内,限流装置为圆筒状结构,其内周沿轴向分为多段,中间段的孔径窄于上下两端的孔径,该多段之间通过斜面平滑过渡,本发明提供的半导体喷淋板中的限流装置,可以在不增加气体流量的情况下提升工艺气体进入喷淋腔室内部的动能,进而使得气体进入腔室后可以充分扩展至边缘各处,提升沉积薄膜的均匀性。
今年以来拓荆科技新获得专利授权12个,较去年同期减少了33.33%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了7.7亿元,同比增1.8%。
通过天眼查大数据分析,拓荆科技股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目106次;财产线索方面有商标信息110条,专利信息731条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可39个。
数据来源:天眼查APP
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