芯源微获得发明专利授权：“旋转处理装置的机械手自动示教方法、装置、设备及介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“旋转处理装置的机械手自动示教方法、装置、设备及介质”，专利申请号为CN202310848283.4，授权日为2026年6月2日。

专利摘要：本发明提供了一种旋转处理装置的机械手自动示教方法、装置、设备及介质，针对旋转处理装置，示教前只需根据旋转处理装置的大致位置确定机械手的初始位置，然后机械手根据初始位置在旋转处理装置上重复进行放取晶圆的操作，计算放取晶圆前后晶圆中心在机械手上变化的差值，根据差值对机械手的初始位置不断的进行调整，直到调整后的差值小于等于第一预设值时，认为晶圆中心和基准位置接近，将机械手调整后的位置作为第一坐标；通过旋转处理装置带动晶圆转动第二预设角度后得到第二坐标并计算出基准位置坐标，从而使得晶圆中心与旋转处理装置的基准位置的自动对准，实现了机械手的自动示教，无需借助示教工具成本低，并提高了示教的准确度和效率。

今年以来芯源微新获得专利授权17个，较去年同期减少了29.17%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.55亿元，同比减14.21%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目335次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息689条，著作权信息107条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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