证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种抛光方法及抛光设备、装置及介质”,专利申请号为CN202411809383.7,授权日为2026年6月2日。
专利摘要:本公开提供一种抛光方法及抛光设备、装置及介质,该抛光方法包括:基于预设抛光参数,得到抛光后的硅片样品,其中所述预设抛光参数包括前一次抛光参数、和/或预先存储的第一次抛光参数,所述抛光参数包括抛光去除量和抛光液温度中至少一项;检测基于前一次抛光参数得到的硅片样品的表面反射率;若所述表面反射率小于第一阈值,调整所述抛光去除量和所述抛光液温度中至少一项,得到后一次抛光参数;检测基于后一次抛光参数得到的硅片样品的表面反射率;循环执行上述步骤,直至检测到基于第N次抛光参数得到的硅片样品的表面反射率大于或等于第二阈值时,确定所述第N次抛光参数为目标抛光参数。本公开的抛光方法及抛光设备、装置及介质能够改善云雾印记不良。
今年以来西安奕材新获得专利授权42个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增10.17%。
通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目14次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1589条;此外企业还拥有行政许可24个。
数据来源:天眼查APP
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