华海清科获得发明专利授权：“晶圆水平清洗装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆水平清洗装置”，专利申请号为CN202410172121.8，授权日为2026年5月29日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆水平清洗装置，包括夹持盘、动力组件和背喷组件，夹持盘用于水平夹持晶圆，夹持盘的中心区域开设有清洗孔；动力组件位于夹持盘的下方，动力组件的输出轴的端部穿设于清洗孔，输出轴为中空管件且与清洗孔连通；背喷组件设置于输出轴的内部，背喷组件朝向晶圆的背面中心区域喷洒清洁液，背喷组件的外周面与输出轴的内壁面之间具有第一间隙，第一间隙与清洗孔连通，以将清洗废液经由第一间隙排出。根据本发明实施例的一种晶圆水平清洗装置，可以将废液通过第一间隙及时排出，有效的防止废液腐蚀其它结构件，并且可以防止废液堆积导致晶圆背面有液珠凝聚，影响工艺效果。

今年以来华海清科新获得专利授权35个，较去年同期减少了7.89%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目274次；财产线索方面有商标信息93条，专利信息812条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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