拓荆科技获得发明专利授权：“一种晶圆支撑结构、晶圆加工装置及其加工方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆支撑结构、晶圆加工装置及其加工方法”，专利申请号为CN202211288470.3，授权日为2026年5月26日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆支撑结构、一种晶圆加工装置及其加工方法。该晶圆支撑结构设置于气相沉积设备的反应腔内，包括：金属顶针，经由设置于晶圆托盘的顶针过孔穿过该晶圆托盘，以支撑放置于该晶圆托盘上的晶圆，其中，该顶针过孔与该金属顶针之间保持间隙，该间隙的宽度是根据该金属顶针的金属材料的热膨胀率确定；以及托板，设置于该金属顶针的下方，在需要顶起该晶圆时抬起，向上推动该金属顶针的下部，以顶起该晶圆。上述晶圆支撑结构、晶圆加工装置及其加工方法，不仅能够免去额外的外部加重零件，便可加重顶针的重量以使其快速降落，并且能够缩小顶针过孔，以提高顶针支撑晶圆重复放置的精度，且增强顶针的强度以提高其使用寿命。

今年以来拓荆科技新获得专利授权10个，较去年同期减少了37.5%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了7.7亿元，同比增1.8%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目106次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息731条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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