每周股票复盘：屹唐股份（688729）干法刻蚀设备获重复订单，客户需求增长

截至2026年5月22日收盘，屹唐股份（688729）报收于27.96元，较上周的26.05元上涨7.33%。本周，屹唐股份5月21日盘中最高价报31.69元。5月19日盘中最低价报25.37元。屹唐股份当前最新总市值826.37亿元，在半导体板块市值排名30/173，在两市A股市值排名247/5206。

本周关注点

• 来自机构调研要点：新一代干法刻蚀设备REN-E?已通过关键客户量产验证并获得重复量产订单，客户需求持续增长。
• 来自机构调研要点：先进等离子体表面处理设备Escala?已实现重复量产订单，正推进在更多客户中验证。
• 来自公司公告汇总：2025年年度股东会审议通过利润分配预案及续聘2026年度审计机构等议案。
• 来自机构调研要点：公司持续推进快速热处理、干法刻蚀等设备研发，部分新项目已完成开发进入验证阶段。
• 来自机构调研要点：公司已提升设备零部件国产化率，强化供应链抗风险能力，保障供应安全可控。

机构调研要点

董事、总裁兼首席执行官陆郝安：公司通过持续研发投入，对现有干法去胶、快速热处理、干法刻蚀及等离子体表面处理设备开展技术升级，提升产品竞争力。在快速热处理方面，已开展新一代常压、低压及具备低热预算的选择性加热设备研发，部分项目完成开发并进入客户量产验证阶段。

董事长张文冬：公司建立系统化的供应链评估体系，强化关键零部件国产化能力与抗风险指标评估，推行供应链多元化与本地化战略，提高国产化率，缩短物流周期，保障供应链安全可控。

董事长张文冬：2025年推出的新一代干法刻蚀设备REN-E?具备离子能量与密度独立控制能力，已通过关键客户量产验证并获重复订单，导入多家客户进行量产验证，需求持续增长。Escala?设备已通过多家客户技术验证并实现重复量产订单，应用涵盖存储器与逻辑芯片制造多个环节。公司正推进多项新型干法刻蚀及表面处理设备研发，部分项目完成开发，即将开展客户端验证。

公司公告汇总

北京屹唐半导体科技股份有限公司于2026年5月22日召开2025年年度股东会，采用现场与网络投票结合方式，出席会议股东及代理人共267人，代表有表决权股份总数1,922,279,120股，占公司总表决权65.0394%。会议审议通过《2025年度董事会工作报告》、2025年度利润分配预案、续聘2026年度审计机构、2026年度董事薪酬方案及《董事、高级管理人员薪酬管理制度》等议案。其中，利润分配预案、续聘审计机构、董事薪酬方案对中小投资者单独计票，关联股东就相关议案回避表决。北京市金杜律师事务所出具法律意见书，认为会议召集、召开及表决程序合法有效。

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