至纯科技获得发明专利授权：“一种基于气体流场优化的IPA置换干燥装置及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于气体流场优化的IPA置换干燥装置及方法”，专利申请号为CN202311322183.4，授权日为2026年5月22日。

专利摘要：本发明公开了一种基于气体流场优化的IPA置换干燥装置及方法，应用于半导体制备领域，该装置包括干燥槽体，容纳载有若干晶圆的晶圆盒进行晶圆干燥工艺；抽排气出口，设置在干燥槽体的侧面的上方区域；控制部件，排气过程中控制干燥槽体内的气体分段式的通过抽排气出口排出。本发明通过将抽排气出口设置在干燥槽体的侧面的上方区域，以将晶圆表面的异丙醇与加热氮气形成的共沸物向上移动排出，防止晶圆盒等与晶圆接触的盲区形成水分堆积，提高了晶圆干燥的效率。

今年以来至纯科技新获得专利授权8个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3.34亿元，同比增24.93%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目77次；财产线索方面有商标信息107条，专利信息343条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可54个。

数据来源：天眼查APP

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