至纯科技获得发明专利授权：“一种基于IPA的置换干燥方法及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种基于IPA的置换干燥方法及装置”，专利申请号为CN202311322687.6，授权日为2026年5月22日。

专利摘要：本发明公开了一种基于IPA的置换干燥方法及装置，应用于半导体制备领域，该方法包括：载有若干晶圆的晶圆盒置于干燥槽体的承载部件，摆动部件带动承载部件沿晶圆排列方向进行周期性摆动；其中，周期性摆动包括：以第一摆动角度进行第一阶段周期摆动，通过高辐摆动调整晶圆和晶圆盒卡槽位置关系；以第二摆动角度进行第二阶段周期摆动，通过低辐摆动定位晶圆以干燥晶圆；第一摆动角度大于第二摆动角度。本发明通过设置摆动部件，同时利用摆动部件带动晶圆沿排列方向进行大摆幅的周期性摆动，以调整晶圆与晶圆盒的位置关系，并结合小摆幅的周期性摆动，使晶圆位置锁定，并完成对晶圆的干燥过程。

今年以来至纯科技新获得专利授权8个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3.34亿元，同比增24.93%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目77次；财产线索方面有商标信息107条，专利信息343条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可54个。

数据来源：天眼查APP

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