盛美上海获得发明专利授权：“基板清洗设备及其翻转装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“基板清洗设备及其翻转装置”，专利申请号为CN202210138646.0，授权日为2026年5月22日。

专利摘要：本发明提出的基板清洗设备及其翻转装置中，基板翻转装置包括槽、提升机构和翻转机构，提升机构设置在槽一侧，配置为接收基板并带动基板升降；翻转机构设置在槽上，用于翻转基板，配置为相对提升机构在接片位置和取片位置之间移动，接片位置为翻转机构从提升机构中接收基板的位置，取片位置为从翻转机构取出基板的位置。在本发明中，完成槽式清洗的多片基板能够一次性转移到提升机构中，并由翻转机构分多次快速转移到工艺机械手，这不仅使得完成槽式清洗的基板在基板清洗槽内的停留时间减少，提高基板清洗设备的效能，还有利于提高基板翻转装置的传输速度。

今年以来盛美上海新获得专利授权15个，较去年同期增加了200%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了10.03亿元，同比增37.64%。

通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目178次；财产线索方面有商标信息39条，专利信息707条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可32个。

数据来源：天眼查APP

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