中微公司获得实用新型专利授权：“一种基片处理系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种基片处理系统”，专利申请号为CN202520716379.X，授权日为2026年5月22日。

专利摘要：本实用新型公开了一种基片处理系统，包括：中转腔室，若干个工艺腔室，分别与中转腔室的侧壁连接；每一工艺腔室内包含靠近中转腔室的近端加工台组和远离中转腔室的远端加工台组；每一近端加工台组或远端加工台组至少包含两个加工台，同一工艺腔室内的加工台呈阵列排布。机械手，设置在中转腔室内；机械手可进行旋转实现与工艺腔室的传片口进行对准定位；机械手可进行伸缩实现在远端加工台组和近端加工台组之间移动，以将成组的基片在对应的加工台上取放。本实用新型能够兼顾传输效率、加工效率和可靠性。

今年以来中微公司新获得专利授权63个，较去年同期减少了5.97%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目81次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1677条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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