芯碁微装获得发明专利授权：“激光成像曝光机的对位方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“激光成像曝光机的对位方法”，专利申请号为CN202310498450.7，授权日为2026年5月19日。

专利摘要：本发明公开了一种激光成像曝光机的对位方法，曝光机包括：曝光台、正面相机和背面相机，背面相机安装于曝光台，曝光台适于放置基板，正面相机和背面相机分别位于基板的相对两侧，方法包括：建立背面相机、正面相机以及曝光台之间的坐标系映射关系；将基板置于第一曝光位置并对第一面曝光，背面相机在曝光位置采集基板第二面的纹理图像；将基板置于第二面曝光位置，正面相机采集的基板第二面的纹理图像；建立背面相机与正面相机采集的基板第二面纹理图像的坐标的映射关系；根据背面相机采集的纹理图像与正面相机采集的纹理图像的坐标的映射关系获得第二面的曝光位置。根据本发明实施例的激光成像曝光机的对位方法，具有对位准确、可靠性高等优点。

今年以来芯碁微装新获得专利授权23个，较去年同期增加了35.29%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目184次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息395条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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