芯碁微装获得发明专利授权：“背面对准装置及其方法和曝光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“背面对准装置及其方法和曝光设备”，专利申请号为CN202310427639.7，授权日为2026年5月19日。

专利摘要：本发明公开了一种背面对准装置及其方法和曝光设备，其中，背面对准装置包括：工作台、参考靶点、背面对准模块、图像采集系统和控制模块。工作台用于承载带有对准靶点的掩膜板，并且具有对准靶点孔和成像孔，掩膜板的对准靶点与对准靶点孔对准；参考靶点设置于工作台内；背面对准模块安装在工作台内，用于将对准靶点和参考靶点同焦面地成像至成像孔处；图像采集系统设置于成像孔上方，用于采集对准靶点和参考靶点的图像；控制模块与图像采集系统连接，用于根据对准靶点和参考靶点的图像确定对准靶点和参考靶点的相对位置，以根据该位置进行曝光控制。本发明解决了CCD相机受温度影响造成像素漂移而导致靶点对准发生误差的问题，提高了对准精度。

今年以来芯碁微装新获得专利授权23个，较去年同期增加了35.29%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目184次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息395条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。