华海清科获得发明专利授权：“晶圆清洗装置及晶圆清洗方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆清洗装置及晶圆清洗方法”，专利申请号为CN202610230602.9，授权日为2026年5月15日。

专利摘要：本申请提供了一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法，属于晶圆处理技术领域。该晶圆清洗装置包括箱体、承载盘、上挡圈及匀流结构，承载盘转动设置于箱体内，用于带动晶圆旋转，上挡圈升降设置于箱体内，以遮挡流体，匀流结构设置于上挡圈内侧下方，以均衡上挡圈内的径向压力，匀流结构上开设有引导流体进入其内部的镂空，以减少流体溢出。晶圆旋转过程中甩出流体，匀流结构可以对上挡圈内的径向压力进行均匀，形成匀流作用，避免流体在离心力作用下在上挡圈内周形成高压区、并自上挡圈下方溢出，匀流结构上的镂空可将上挡圈内的流体引导至匀流结构内部，进而避免流体自下挡圈下方溢出重新落在晶圆表面造成的二次污染，有效地保证了晶圆的处理质量。

今年以来华海清科新获得专利授权32个，较去年同期减少了13.51%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目262次；财产线索方面有商标信息92条，专利信息809条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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