微导纳米获得实用新型专利授权：“一种基片搬运机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种基片搬运机构”，专利申请号为CN202520593004.9，授权日为2026年5月1日。

专利摘要：本申请属于半导体制造工艺技术领域，提供基片搬运机构，包括：第一搬运组件，包括导向部、驱动机构和第一移动部，第一移动部与导向部滑动配合，驱动机构通过同步带驱动第一移动部沿X方向移动；第二搬运组件，连接于第一移动部，第二搬运组件包括第二移动部，第二移动部能够沿Z方向升降移动；桨本体，连接于第二移动部，桨本体用于搭载载片舟，载片舟可随桨本体沿X方向进出基片加工设备，X方向和Z方向相互垂直。本申请中，第一搬运组件包括导向部、驱动机构和第一移动部，第一移动部与导向部的滑动配合保证载片舟在X方向的移动精度，驱动机构通过同步带驱动第一移动部沿X方向移动，无需使用润滑脂，且磨损更小，降低维护成本，节约场地。

今年以来微导纳米新获得专利授权34个，较去年同期增加了9.68%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息140条，专利信息649条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。