华海清科获得实用新型专利授权：“一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头”，专利申请号为CN202520915865.4，授权日为2026年5月1日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于电化学机械抛光的弹性膜和承载头，属于晶圆制造技术领域；该弹性膜包括：圆盘状的底板部；直立部，沿所述底板部的边缘竖直向上延伸；所述直立部配置有至少一个水平筋；分隔筋，沿所述底板部向上延伸且位于所述直立部的内侧，以将弹性膜分隔为多个腔室；所述底板部的中心配置有安装孔，所述安装孔的内沿配置有固定筋，以连接电化学抛光的承载头的电连接组件，所述电连接组件设置于弹性膜与电源的电极之间。

今年以来华海清科新获得专利授权32个，较去年同期减少了13.51%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目262次；财产线索方面有商标信息92条，专利信息809条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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