芯源微获得实用新型专利授权：“一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统”，专利申请号为CN202520930478.8，授权日为2026年5月1日。

专利摘要：本实用新型提供了一种用于晶圆曝光的照明装置及晶圆曝光系统，其中，用于晶圆曝光的照明装置包括：光源组件，用于提供紫外光。光纤束，具有光接收端和呈矩形的光出射端，所述光接收端与所述光源组件连接，用于接收紫外光；镜头，与所述光出射端连接，用于将紫外光照射在晶圆的边缘。本实用新型提供的照明装置，光纤束由多根光纤采用捆绑、粘接的方式组合成束，并且将光纤束的光接收端排布成圆形，用来尽可能多的收集光，以及将光纤束的光出射端排布成矩形，这样利用光纤束的排布性，将光束接近无损的从圆形整形到矩形，减少了后续光束整形过程光能的损失，提高了光束利用率。

今年以来芯源微新获得专利授权16个，较去年同期减少了27.27%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.55亿元，同比减14.21%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目335次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息686条，著作权信息105条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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