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龙图光罩获得实用新型专利授权:“一种掩膜版修补装置”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示龙图光罩(688721)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种掩膜版修补装置”,专利申请号为CN202521004558.7,授权日为2026年5月1日。

专利摘要:本实用新型提供一种掩膜版修补装置,包括运动平台、激光系统和成像系统,运动平台被配置为在平面内沿第一方向和/或第二方向运动;激光系统包括激光头和调节组件,激光头通过调节组件与运动平台连接,并位于运动平台的上方;成像系统包括图像采集单元,图像采集单元与激光头连接;图像采集单元被配置为采集掩膜版的图像信息,并根据掩膜版的图像信息控制运动平台运动;运动平台被配置为响应于图像采集单元采集的掩膜版的图像信息,以带动激光头随运动平台同步运动,以修补掩膜版。本装置中运动平台可根据图像采集单元所采集的掩膜版的待修复部位的图像信息带动激光头运动,以调节激光头对准待修复部位,方便用户操作,并确保修复合格率。

今年以来龙图光罩新获得专利授权3个,较去年同期增加了200%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2737.52万元,同比增18.76%。

通过天眼查大数据分析,深圳市龙图光罩股份有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目29次;财产线索方面有商标信息8条,专利信息81条,著作权信息41条;此外企业还拥有行政许可17个。

数据来源:天眼查APP

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