中微公司获得发明专利授权：“等离子处理设备及其等离子体约束环”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“等离子处理设备及其等离子体约束环”，专利申请号为CN202311127814.7，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：一种等离子处理设备及其等离子体约束环，等离子体约束环环绕设置于基座外围与真空反应腔的侧壁之间，等离子体约束环包含内环组件和外环组件以及分别连接内环组件和外环组件的排气通道组件，内环组件与基座外围接触，内环组件的顶部与基座的顶部齐平，外环组件与真空反应腔的侧壁接触，排气通道组件的顶部表面低于内环组件的顶部表面。本发明减小了等离子体泄露的风险，降低了高功率下发生电弧放电的风险，也减少了等离子体对于等离子体约束环表面涂覆的保护涂层的腐蚀，提高了设备可靠性。

今年以来中微公司新获得专利授权62个，较去年同期减少了7.46%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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