中微公司获得发明专利授权：“衬底支撑装置、衬底处理设备及调整方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“衬底支撑装置、衬底处理设备及调整方法”，专利申请号为CN202311361773.8，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明提供一种衬底支撑装置，用于衬底处理设备，包含：承载盘，设置于衬底处理设备的反应腔内，用于承载衬底；旋转筒，围绕设置在承载盘的外周；边缘环，围绕设置在承载盘与旋转筒之间，由上至下分为定位部、传导调节部、辐射遮挡部；定位部的一侧搭接在旋转筒的顶部，定位部的另一侧支撑承载盘，定位部还用于限制旋转筒与承载盘在水平方向的相对移动；旋转筒内设有外加热器，其位于辐射遮挡部的下方；通过辐射遮挡部限制外加热器的热辐射方向，并通过传导调节部调节辐射遮挡部传导至定位部的热量。本发明还提供一种衬底处理设备及承载盘边缘受热的调整方法。本发明能够解耦化加热承载盘的边缘区域和中心区域，避免因热应力导致承载盘破裂。

今年以来中微公司新获得专利授权61个，较去年同期减少了8.96%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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