中微公司获得发明专利授权：“静电卡盘系统及半导体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“静电卡盘系统及半导体处理设备”，专利申请号为CN202111596699.9，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明公开了一种静电卡盘系统及半导体处理设备，静电卡盘系统包括：能够相对反应腔的底壁进行上下移动的静电卡盘，以及分别与静电卡盘连接的射频功率源和直流电源，静电卡盘与射频功率源和直流电源之间分别形成有射频通路和直流通路；相互连接的第一射频阻挡部和第二射频阻挡部；第一射频阻挡部位于直流通路上，并设置在静电卡盘上，且随静电卡盘相对反应腔的底壁上下移动，第一射频阻挡部用于限制射频通路中的射频电流耦合到直流通路上；第二射频阻挡部设置在反应腔的底壁上的开口处，开口用于直流通路与直流电源连接；第二射频阻挡部用于阻止射频电流从开口泄漏至反应腔外部。

今年以来中微公司新获得专利授权61个，较去年同期减少了8.96%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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