中微公司获得发明专利授权：“聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202110458764.5，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明公开了一种聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置，所述聚焦环对准测量装置包括：板状主体；定位结构，设置在所述板状主体上；传感器，设置在所述板状主体上，用于向所述聚焦环的内侧面发射信号；在测量时，所述板状主体被放置在静电夹盘上，通过所述定位结构实现所述板状主体与所述静电夹盘之间的定位，通过所述聚焦环的内侧面的多个位置的信号反馈测量所述聚焦环相对所述静电夹盘中心的偏移量。本发明解决了现有技术中开腔更换聚焦环效率低、成本高，不开腔更换又无法控制对中性的问题。

今年以来中微公司新获得专利授权61个，较去年同期减少了8.96%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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