永鼎股份获得发明专利授权：“一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法”，专利申请号为CN202610152922.7，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明涉及半导体光电器件技术领域，公开一种用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法。阶梯状调试片包括分布在衬底的中心区域的第一诊断单元、分布在衬底的中间区域的第二测试单元以及分布在衬底的边缘区域的第三诊断单元，所述第二测试单元设有阶梯状观测子结构，所述第一诊断单元以及第三诊断单元均并列设有形貌关联子结构以及多参数子结构；所述形貌关联子结构包括对比光栅组，对比光栅组包括并列设置的未刻蚀光刻胶光栅与已刻蚀材料光栅。本发明用于光栅形貌表征的阶梯状调试片及其制备方法，既能够使测试数据能真实反映工艺在整片衬底上的表现，又能够简化单个测试单元的版图复杂性，提高制备的可行性。

今年以来永鼎股份新获得专利授权20个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3.04亿元，同比增27.27%。

通过天眼查大数据分析，江苏永鼎股份有限公司共对外投资了35家企业，参与招投标项目301次；财产线索方面有商标信息1条，专利信息747条，著作权信息2条；此外企业还拥有行政许可92个。

数据来源：天眼查APP

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