中科飞测获得发明专利授权：“集成电路器件的结构量测方法、装置、设备及存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“集成电路器件的结构量测方法、装置、设备及存储介质”，专利申请号为CN202510930704.7，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明公开了一种集成电路器件的结构量测方法、装置、设备及存储介质，其中方法包括：获取待测样品在预设波长范围内的初始测量光谱信号；基于预设方式将预设波长范围划分为多个波长段；分析每个波长段的光谱变化频率，确定每个波长段对应的采样频率；根据采样频率对每个波长段的初始测量光谱信号进行重采样，得到最终测量光谱信号；对最终测量光谱信号进行拟合分析，得到待测样品的结构参数。本发明通过根据初始测量光谱信号的频率变化分布趋势自适应地调整波长采样频率，使得最终采集的光谱信号能够更好地进行拟合，测量结果更准确。

今年以来中科飞测新获得专利授权25个，较去年同期增加了4.17%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了6.56亿元，同比增31.76%。

通过天眼查大数据分析，深圳中科飞测科技股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目280次；财产线索方面有商标信息368条，专利信息1112条，著作权信息40条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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