中微公司获得发明专利授权：“表面形貌平整化设备及提高静电夹盘形貌平整度的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“表面形貌平整化设备及提高静电夹盘形貌平整度的方法”，专利申请号为CN202110895776.4，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明公开了一种表面形貌平整化设备，包括：静电夹盘，其具有待抛光面；控温部，与所述待抛光面相对设置；抛光件，其具有抛光面，所述抛光面用于接触所述静电夹盘的待抛光面；所述控温部用于对所述抛光件加热或冷却，使所述抛光件受热膨胀或受冷收缩，所述抛光件的抛光面对所述静电夹盘的待抛光面进行抛光。所述表面形貌平整化设备能够对静电夹盘的表面进行抛光。

今年以来中微公司新获得专利授权61个，较去年同期减少了8.96%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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