中微公司获得发明专利授权：“一种气体喷淋头及气相沉积装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气体喷淋头及气相沉积装置”，专利申请号为CN202311197573.3，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明提供一种气体喷淋头及气相沉积装置，该气体喷淋头包括：气体分布板和位于气体分布板下方的冷却板；所述气体分布板和冷却板内设置有若干个气体传输通道；若干个安装槽，每个安装槽包括设置在气体分布板上的第一凹槽，和/或设置在冷却板上的第二凹槽；所述安装槽位于两个相邻输送不同反应气体的气体传输通道之间；若干个气密组件，分别嵌设于每个所述安装槽内，每个气密组件包括：气密件本体，以及设置在所述气密件本体上的若干个凸起部；所述凸起部与所述气体分布板或冷却板始终保持弹性接触，阻止相邻气体传输通道内的不同反应气体在气体分布板和冷却板之间的缝隙流通。

今年以来中微公司新获得专利授权61个，较去年同期减少了8.96%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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