中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置”，专利申请号为CN202311246625.1，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体约束装置及其等离子体处理装置，所述等离子体约束装置设置于真空反应腔的腔体侧壁和下电极组件之间，所述等离子体约束装置包含上约束环和位于所述上约束环下方的下约束环，所述上约束环包含多个环绕所述下电极组件的第一间隔件，所述下约束环包含多个环绕所述下电极组件的第二间隔件，各个所述第一间隔件和各个所述第二间隔件交错排列，所述第一间隔件和与其相邻的所述第二间隔件之间形成气体通道。其优点是：该等离子体约束装置通过上约束环和下约束环的交错组合，在保证对等离子体具有足够约束能力的同时，还可减小对气流的阻碍作用，进而提高反应腔流导，有助于实现各工艺条件的协同最优调节。

今年以来中微公司新获得专利授权61个，较去年同期减少了8.96%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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