中微公司获得实用新型专利授权：“电磁线圈组件及半导体加工设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“电磁线圈组件及半导体加工设备”，专利申请号为CN202520763154.X，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本实用新型提供一种电磁线圈组件及半导体加工设备。所述电磁线圈组件包括：直流电源；电磁线圈；电流转向器，连接在所述电磁线圈和所述直流电源之间；所述电流转向器包括第一磁性开关和第二磁性开关，所述第一磁性开关和所述第二磁性开关包括动触点、常开触点和常闭触点；所述第一磁性开关的动触点连接所述电磁线圈的第一端，常开触点和常闭触点分别连接所述直流电源的正极和负极；所述第二磁性开关的动触点连接所述电磁线圈的第二端，常开触点和常闭触点分别连接所述直流电源的负极和正极，所述第一磁性开关和所述第二磁性开关同步切换。本实用新型能够方便控制电磁线圈的电流方向，提高沉积工艺的稳定性和产品质量。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了24.24%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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