芯联集成获得实用新型专利授权：“运动检测装置及化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“运动检测装置及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202520768267.9，授权日为2026年5月12日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种运动检测装置及化学气相沉积设备，运动检测装置包括：转动单元、直线运动单元、第一检测单元和第二检测单元；所述转动单元与所述直线运动单元连接，用于将所述转动单元的转动运动转换为所述直线运动单元的直线运动；所述第一检测单元至少用于检测所述转动单元的转动角度；所述第二检测单元用于检测所述直线运动单元的直线运动距离。通过对运动检测装置的改进，以实现对工艺部件运动距离的检测准确性的有效监测。

今年以来芯联集成新获得专利授权28个，较去年同期增加了21.74%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了18.38亿元，同比减0.2%。

通过天眼查大数据分析，芯联集成电路制造股份有限公司共对外投资了19家企业，参与招投标项目1747次；财产线索方面有商标信息16条，专利信息816条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可43个。

数据来源：天眼查APP

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