中微公司获得发明专利授权：“一种气源供给系统及化学气相沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种气源供给系统及化学气相沉积设备”，专利申请号为CN202310323441.4，授权日为2026年5月8日。

专利摘要：本发明公开了一种气源供给系统及化学气相沉积设备，防止气体泄漏的气源供给系统包括反应物存储装置、第一箱体、第二箱体和反应物输出管道；所述反应物存储装置套设于所述第一箱体内，所述第一箱体内的压力为正压；所述第一箱体套设于所述第二箱体内，所述第二箱体内的压力为负压；所述反应物输出管道的一端与所述反应物存储装置连通，所述反应物输出管道的另一端作为所述气源供给系统的输出端。本发明的气源供给系统采用“多箱体”结构，通过设置内外压力差，能够有效防止气体泄漏，提升操作和环境安全性。

今年以来中微公司新获得专利授权47个，较去年同期减少了28.79%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。

通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。

数据来源：天眼查APP

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