至纯科技获得发明专利授权：“一种晶圆盒输送装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆盒输送装置”，专利申请号为CN202310108712.4，授权日为2026年5月5日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆盒输送装置，包括呈U型设置的备载区、中转区、导片区及晶圆侦测模组；晶圆侦测模组，包括光学侦测单元和波段侦测单元，光学侦测单元包括：至少一组接收集成组件和光源集成组件，每一组接收集成组件和光源集成组件分别位于晶圆盒承载位底部、对应镂空位置的两侧，且所述接收集成组件整体升降移动和/或旋转摆动，以接收并转向传导光线，所述光源集成组件整体升降移动和/或旋转摆动，以集成所述接收集成组件传导的光线，本发明提供的一种晶圆盒输送装置可对晶圆盒内晶圆进行的光学扫描，反应晶圆的实时状态。

今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期减少了50%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了3.34亿元，同比增24.93%。

通过天眼查大数据分析，上海至纯洁净系统科技股份有限公司共对外投资了46家企业，参与招投标项目77次；财产线索方面有商标信息105条，专利信息337条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可54个。

数据来源：天眼查APP

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