西安奕材获得发明专利授权：“一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备”，专利申请号为CN202311745929.2，授权日为2026年5月5日。

专利摘要：本公开提供一种晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备，该装置包括：若干定位点，若干定位点间隔地围绕目标放置区的周向分布，以对晶圆载具的边缘定位，其中至少一个定位点为激光定位点；激光感应器，激光感应器设于抛光垫的上方，向激光定位点发射激光，并接收从激光定位点返回的反射激光信号；处理器，与激光感应器之间通信连接，用于将反射激光信号和预设激光信号进行比较，以判断晶圆载具是否处于目标位置上。本公开实施例提供的晶圆载具位置检测装置及方法、抛光设备，通过对晶圆载具进行精确定位，避免由于晶圆载具对高压清洗水柱的阻挡而产生清洁弱区，以改善产品釉化现象。

今年以来西安奕材新获得专利授权32个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1563条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。