芯源微获得实用新型专利授权：“一种用于半导体清洗设备的支撑装置和半导体清洗设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于半导体清洗设备的支撑装置和半导体清洗设备”，专利申请号为CN202520880520.X，授权日为2026年5月5日。

专利摘要：本实用新型提供了一种用于半导体清洗设备的支撑装置和半导体清洗设备，包括：盘体和支撑件，支撑件设置在盘体上，用于支撑晶圆；盘体具有缺口，用于在机械手取片或放片过程中允许机械手的手指从缺口穿过。本实用新型的用于半导体清洗设备的支撑装置通过在支撑晶圆的盘体的外边缘设置用于避让机械手手指的缺口，该缺口在机械手取片或放片过程中允许所述机械手的手指从所述缺口穿过，有效避免了机械手取片或放片过程中与盘体的干涉问题。相对于现有技术的晶圆支撑装置，本实用新型一方面简化了支撑装置的结构，另一方面也简化了取片的步骤，提高工艺节拍，进而进一步提升了晶圆清洗的效率。

今年以来芯源微新获得专利授权16个，较去年同期减少了23.81%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.55亿元，同比减14.21%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目334次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息681条，著作权信息100条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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