芯碁微装获得发明专利授权：“一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法”，专利申请号为CN202310953839.6，授权日为2026年5月1日。

专利摘要：本发明公开了一种激光干涉仪系统的装调及误差补偿方法，包括：工件台组件、干涉仪组件和控制器，执行以下步骤：控制工件台组件和设于工件台组件上的测距仪调整工件台吸盘的旋转角及平面度；将标定板放置在工件台吸盘上，且根据光栅尺坐标与标定板坐标差补偿工件台组件的机械误差；根据光栅尺反馈控制工件台纵轴和横轴的移动，以对激光干涉仪组件光路准直；根据光栅尺的反馈控制工件台纵轴和横轴移动，通过干涉仪检测干涉仪组件的平面反射镜在工件台组件的安装状态，并调整平面镜的俯仰和偏摆角度；控制工件台光栅尺原点与干涉仪原点一致；将工件台位置反馈由光栅尺反馈切换为干涉仪，通过标定板补偿干涉仪组件的安装残余误差。

今年以来芯碁微装新获得专利授权20个，较去年同期增加了25%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.31亿元，同比增34.33%。

通过天眼查大数据分析，合肥芯碁微电子装备股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目184次；财产线索方面有商标信息35条，专利信息395条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可29个。

数据来源：天眼查APP

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