微导纳米获得实用新型专利授权：“进气管路装置及半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“进气管路装置及半导体设备”，专利申请号为CN202520599166.3，授权日为2026年5月1日。

专利摘要：本实用新型提供了一种进气管路装置及半导体设备，包括：外层管，用于与喷淋板连接；外层防打弧组件，设于外层管的内壁且具有绝缘性；内层管，设于外层管内，外层管与内层管之间形成有外层空间，外层防打弧组件位于外层空间内；内层防打弧组件，设于内层管内且具有绝缘性。本实用新型中外层防打弧组件具有绝缘性，能够显著降低电弧的附着和扩散能力。当电弧试图在外层防打弧组件表面传播时，由于外层防打弧组件的高电阻特性，防止气体在内层管内发生电离和打弧。内层防打弧组件具有绝缘性，能够显著降低电弧的附着和扩散能力。当电弧试图在内层防打弧组件表面传播时，由于内层防打弧组件的高电阻特性，防止气体在内层管内发生电离和打弧。

今年以来微导纳米新获得专利授权31个，较去年同期增加了14.81%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.65亿元，同比减0.64%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息638条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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