西安奕材获得实用新型专利授权：“硅片边缘刻蚀装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示西安奕材（688783）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“硅片边缘刻蚀装置”，专利申请号为CN202521050986.3，授权日为2026年4月28日。

专利摘要：本实用新型提供了一种硅片边缘刻蚀装置，涉及半导体制造技术领域，硅片边缘刻蚀装置，包括：硅片承载台，硅片承载台包括在竖直方向上相对设置的上承载盘和下承载盘，硅片设置于上承载盘和下承载盘之间，上承载盘和下承载盘用于固定硅片，并暴露出硅片的边缘；刻蚀设备，刻蚀设备位于硅片边缘的一侧，刻蚀设备包括第一管路和第二管路；第一管路的第一端和第二管路的第一端连接，且第一管路和第二管路之间形成夹角；第一管路和第二管路均用于朝向夹角内的区域喷射刻蚀气体。本实用新型可以实现对该夹角区域内的硅片边缘的针对性刻蚀，提高对硅片边缘的刻蚀过程的可控性以及实现精确刻蚀硅片边缘的某一区域。

今年以来西安奕材新获得专利授权27个。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目14次；财产线索方面有商标信息5条，专利信息1561条；此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源：天眼查APP

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