通富微电获得发明专利授权：“晶圆吸盘及半导体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示通富微电（002156）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆吸盘及半导体处理设备”，专利申请号为CN202211119304.0，授权日为2026年4月24日。

专利摘要：本发明提供一种晶圆吸盘，包括盘体和拼接组件；盘体设置有腔室以及呈镂空的第一吸附面，第一吸附面沿盘体的周向设置有多个限位件；拼接组件设置有第二吸附面，拼接组件活动设置于腔室；其中，在拼接组件处于第一位置时，拼接组件延伸出腔室外，以使得第二吸附面拼接于第一吸附面的镂空区域；以及，在拼接组件处于第二位置时，拼接组件收回至腔室内，以露出第一吸附面的镂空区域。本发明的晶圆吸盘既能兼容非镂空吸盘的量测和检验，又能兼容镂空吸盘的量测和检测，使得晶圆吸盘兼容能力大大提高，节约了设备空间，减少人工更换晶圆吸盘作业带来的时间成本和风险。

今年以来通富微电新获得专利授权8个，较去年同期增加了166.67%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了15.92亿元，同比增3.85%。

通过天眼查大数据分析，通富微电子股份有限公司共对外投资了20家企业，参与招投标项目68次；财产线索方面有商标信息19条，专利信息999条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可55个。

数据来源：天眼查APP

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