拓荆科技获得发明专利授权：“一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆托盘以及晶圆托盘的温度控制方法”，专利申请号为CN202211634990.5，授权日为2026年4月24日。

专利摘要：本发明提供了一种晶圆托盘、一种晶圆托盘的温度控制方法以及一种计算机可读存储介质。上述晶圆托盘包括：托盘本体，至少包括位于中心区域的第一分区，以及位于边缘区域的第二分区；多个第一半导体制冷器，垂直托盘本体径向地设置于托盘本体中，并沿第一分区和/或第二分区的边界分布；以及控制器，被配置为：获取第一分区的第一温度及第二分区的第二温度；以及根据第一温度及第二温度的大小，向各第一半导体制冷器提供对应方向和/或对应幅值的驱动电压，以控制各第一半导体制冷器在第一分区及第二分区之间进行对应方向的定向热量转移。

今年以来拓荆科技新获得专利授权7个，较去年同期减少了30%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了3.01亿元，同比减4.33%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目106次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息730条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可39个。

数据来源：天眼查APP

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