芯源微获得发明专利授权：“一种晶圆自动对中系统及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆自动对中系统及方法”，专利申请号为CN202210537770.4，授权日为2026年4月24日。

专利摘要：本发明属于晶圆精度校准领域，具体说是一种晶圆自动对中系统及方法，包括：机器人运动系统、相机传感器、相机控制器以及上位机；机器人运动系统上安装有晶圆，且与上位机连接；所述机器人运动系统上设有相机传感器，所述相机传感器设于晶圆的正下方，相机传感器的视场方向朝向晶圆底部，且相机传感器随晶圆的X轴方向移动；相机传感器与相机控制器连接；相机控制器与上位机连接；上位机，用于控制机器人运动系统，获取机器人运动系统的示教位置坐标值；同时，接收相机控制器发送的晶圆位置偏差值，并进行处理，得到放片位置坐标，并将放片位置坐标发送至机器人运动系统，对机器人运动系统进行运动控制，实现晶圆中心传运位置的校准。

今年以来芯源微新获得专利授权12个，较去年同期减少了40%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了2.55亿元，同比减14.21%。

通过天眼查大数据分析，沈阳芯源微电子设备股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目334次；财产线索方面有商标信息49条，专利信息680条，著作权信息100条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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