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*ST华微获得实用新型专利授权:“硅片吸附装置及硅片转移设备”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示*ST华微(600360)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“硅片吸附装置及硅片转移设备”,专利申请号为CN202520591094.8,授权日为2026年4月24日。

专利摘要:本申请实施例提供一种硅片吸附装置及硅片转移设备,涉及硅片转移技术领域。上述装置包括真空吸盘、环状软垫、管状主体及连接组件。真空吸盘包括吸力吸附区以及环绕吸力吸附区的连接区域的吸附表面。吸力吸附区设置有与内部气路连通的真空孔,环状软垫固定在连接区域。真空吸盘及连接组件分别与管状主体相对的两端连通形成气流通路,连接组件用于连接抽气设备。通过抽气设备可以在吸力吸附区内形成负压,在吸附表面产生强大的吸力,达到吸取翘曲薄硅片的目的,其中,环状软垫能够紧密贴合翘曲薄硅片的背面,更好地适应硅片的表面轮廓,形成良好的密封环境,保证吸附稳定性,同时,环状软垫相比硬质表面还能减少吸附和释放硅片过程中的表面磨损。

今年以来*ST华微新获得专利授权11个,与去年同期持平。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了1.37亿元,同比增9.47%。

通过天眼查大数据分析,吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目112次;财产线索方面有商标信息10条,专利信息282条,著作权信息6条;此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源:天眼查APP

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