*ST华微获得实用新型专利授权：“一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示*ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉”，专利申请号为CN202521056396.1，授权日为2026年4月24日。

专利摘要：本申请提供一种立式炉压力恒定控制装置及立式炉，涉及半导体制造领域。该立式炉压力恒定控制装置包括进气管道和调节组件，进气管道用于与立式炉反应腔室连接，调节组件与进气管道连接，用于控制通过进气管到进入立式炉反应腔室的气体量，以使立式炉反应腔室的压力恒定。本申请提供的立式炉压力恒定控制装置可以更稳定的保持立式炉反应腔室压力恒定，确保TEOS生产工艺正常进行，并且克服使用碟阀存在的蝶阀卡死、后期维护成本高及能源浪费和火灾隐患的问题。

今年以来*ST华微新获得专利授权11个，与去年同期持平。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了1.37亿元，同比增9.47%。

通过天眼查大数据分析，吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目112次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息282条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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