微导纳米获得实用新型专利授权：“沉积系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“沉积系统”，专利申请号为CN202520998898.X，授权日为2026年4月24日。

专利摘要：本申请公开了沉积系统。沉积系统包括设备主体、电极组件、气电馈入件和射频模组。设备主体具有工艺腔体。电极组件设置于工艺腔体内。气电馈入件设置于设备主体的其中一侧，气电馈入件包括第一管路和多个第二管路，第一管路和第二管路穿设设备主体的其中一侧壁与电极组件气导通且电导通，第二管路均匀围绕第一管路设置，第二管路与第一管路间隔设置，不同第二管路与第一管路之间的距离相同，第一管路和第二管路连通设置。射频模组与第一管路电导通，第一管路与第二管路之间通过线缆导通。通过上述方式，本申请能够提高沉积系统镀膜的均匀性。

今年以来微导纳米新获得专利授权29个，较去年同期增加了11.54%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息632条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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