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西安奕材获得发明专利授权:“一种外延设备冷却系统和方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示西安奕材(688783)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种外延设备冷却系统和方法”,专利申请号为CN202210108042.1,授权日为2026年4月21日。

专利摘要:本发明实施例公开了一种外延设备冷却系统和方法,该系统包括:加热模块,所述加热模块经配置为能够以不同的加热功率向外延片进行热辐射;控制模块,用于当所述外延片的上表面测量温度和下表面测量温度之间的温度差大于预设阈值时,向所述加热模块发送控制信号以控制所述加热模块的功率使得所述温度差小于所述预设阈值。通过控制模块和加热模块保障外延片的上表面测量温度与下表面测量温度的温度差在合理范围内,有效减小了外延片的边缘应力,获得符合工艺要求的外延片。

今年以来西安奕材新获得专利授权23个。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增10.17%。

通过天眼查大数据分析,西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目14次;财产线索方面有商标信息5条,专利信息1552条;此外企业还拥有行政许可24个。

数据来源:天眼查APP

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