微导纳米获得实用新型专利授权：“等离子体清洗装置及半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“等离子体清洗装置及半导体设备”，专利申请号为CN202520531883.2，授权日为2026年4月21日。

专利摘要：本实用新型属于半导体工艺技术领域，公开了一种等离子体清洗装置及半导体设备。该等离子体清洗装置包括有远程等离子体源、第一清洗管路和第二清洗管路，远程等离子体源用于产生等离子体。第一清洗管路连接于远程等离子体源和反应腔室，第二清洗管路连接于同一个远程等离子体源和排气管路，且连接于排气控制阀的上游。该装置能够通过第一清洗管路和第二清洗管路分别直接向反应腔室和排气管路输入等离子体，从而避免了等离子体在到达排气控制阀前就已失活，确保了排气控制阀处能够得到彻底的清洗效果，避免了出现副产物堆积、卡顿、堵塞的现象，进而减少了拆卸和清洗的时间成本和人工成本，提高了半导体工艺设备的效能。

今年以来微导纳米新获得专利授权27个，较去年同期增加了3.85%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息632条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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