微导纳米获得实用新型专利授权：“一种半导体设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体设备”，专利申请号为CN202520937786.3，授权日为2026年4月21日。

专利摘要：本申请提供一种半导体设备，半导体设备包括反应腔室、目标抽气管道、蝶阀和微型等离子体发生器。目标抽气管道和反应腔室连接，蝶阀设置在目标抽气管道中，微型等离子体发生器设置于目标抽气管道的目标位置，目标位置位于反应腔室和蝶阀之间。也就是说，微型等离子体发生器设置于目标腔室和蝶阀之间，这样微型等离子体发生器就可以直接在蝶阀附近生成清洁蝶阀的等离子体，从而实现直接对蝶阀进行清洗，避免等离子体从反应腔室到目标抽气管道之间的损失，提高蝶阀的清洗效率，同时利用位于蝶阀附近的等离子体对蝶阀进行均匀清洗，提高蝶阀的清洗效果。

今年以来微导纳米新获得专利授权27个，较去年同期增加了3.85%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次；财产线索方面有商标信息139条，专利信息632条，著作权信息21条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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