横店东磁获得发明专利授权：“一种硼扩散制结的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示横店东磁（002056）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种硼扩散制结的方法”，专利申请号为CN202211056805.9，授权日为2026年4月17日。

专利摘要：本发明提供了一种硼扩散制结的方法，所述方法包括以下步骤：(1)制绒后的硅片在扩散装置中通入O2进行表面氧化；随后在扩散装置中通入携带硼源的小N2与O2反应，同时通入大N2将硼源和O2运输到硅片表面，在硅片表面进行BSG预沉积，完成后调整O2、小N2和大N2的流量，继续在硅片表面进行BSG沉积和推进，完成后，对扩散装置中的硅片进行吹扫；(2)将吹扫完成后的硅片转移至链式氧化装置中，在保护气氛下进行快速热处理，去除背面BSG层后完成硼扩散；所述方法在管式扩散中快速完成BSG沉积和短时间预推进，又借助快速热处理装置完成推结，保证了硅片均匀性的同时又大大节约了硼扩散制结时间，提高了生产效率。

今年以来横店东磁新获得专利授权35个，较去年同期增加了2.94%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.69亿元，同比减21.22%。

通过天眼查大数据分析，横店集团东磁股份有限公司共对外投资了40家企业，参与招投标项目9557次；财产线索方面有商标信息224条，专利信息2761条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可97个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。